Nanoprober für Fehleranalyse und Prozessentwicklung in der Halbleiterindustrie
Nanoprober sind Messgeräte zur Überprüfung von elektronischen Bauelementen in der modernen Halbleiter-Elektronik. Hierzu werden mehrere Mess-Spitzen auf dem Bauelement positioniert und durch das Anlegen von Probeströmen werden die elektrischen Eigenschaften des Bauelements charakterisiert.
Eine große Herausforderung besteht dabei in der zunehmenden Miniaturisierung der zu messenden Bauelemente, was eine exakte Positionierung der sehr kleinen Mess-Spitzen im Nanometerbereich unter Mikroskopkontrolle erfordert. Je kleiner die Bauelemente werden, desto schwieriger ist es die exakte Positionierung für ausreichend lange Zeiten stabil zu halten. Selbst eine Driftbewegung von wenigen Nanometern ist hier nicht mehr tolerierbar.
Am Forschungszentrum Jülich (PGI-3) wurde ein Mikroskop mit mehreren Messspitzen entwickelt, das sich durch eine bisher nicht erreichte Kompaktheit auszeichnet. Diese Kompaktheit bewirkt eine entscheidende Reduktion der Driftbewegung der MessSpitzen.
Im Projekt NANOProb soll das Mikroskop zu einem Nanoprober Demonstrator entwickelt werden und seine Einsatzfähigkeit für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie validiert werden. Im Erfolgsfall besitzt das System ein hohes Marktpotenzial zur Fehleranalyse und Prozessentwicklung in der Halbleiterindustrie. Auch die Vermarktung über ein Ausgründungsunternehmen ist dann geplant.