Elektrostatisch bimorph auslenkbare Mikroaktoren mit der für den Antrieb funktionsbestimmenden Dimension im nm-Bereich
In vielen Anwendungsbereichen der Optik, der Mess- und Medizintechnik, der Biotechnologie bis hin zur Kommunikationstechnik werden kleine und leistungsstarke elektrostatische Aktoren - oder „Wandler“ - benötigt, um über elektrostatische Felder mechanische Teile zu bewegen, z.B. zur Steuerung von Mikrospiegeln in der Laserendoskopie.
Die Erzeugung des elektrostatischen Feldes erfolgt über zwei in das System integrierte Elektroden, zwischen denen ausreichend Abstand besteht, um zu verhindern, dass sie sich gegenseitig anziehen und damit die Bewegung unterbrechen. Das Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS hat ein Verfahren simuliert, womit dieser Abstand gegenüber dem Stand der Technik verringert werden kann mit dem Effekt, dass der Aktor weitaus weniger Energie benötigt bei gleichzeitig höherer Leistungsfähigkeit.
Im Rahmen des Vorhabens sollen die vorliegenden Simulationsrechnungen validiert und in einen ersten Demonstrator und erste Musteranwendungen überführt werden. Dabei soll die komplette Herstellungskette und Verfahrenstechnik für dieses neue Aktorprinzip entwickelt und die technische Realisierung nachgewiesen werden.