Elektrostatischer MEMS-Lautsprecher mit integriertem Mehr-Wege Ansatz
Miniaturisierte Lautsprecher werden bereits heute in sehr vielen Branchen und Produkten, wie z. B. in mobilen Geräten (Smartphones), In-Ohr-Kopfhörern und Hörgeräten, eingesetzt. Sie werden bisher aufwändig mit klassischen Membranen feinwerktechnisch hergestellt. Daher sind sie bisher vergleichsweise teuer und aufwändig in elektronische Geräte zu integrieren. Das Fraunhofer IPMS hat zur Überwindung dieser Hürden neuartige, elektrostatische Biegeaktoren entwickelt, die herkömmliche Lautsprechermembranen ersetzen sollen. Die Biegeaktoren bewegen sich in der Chipebene und erzeugen damit Schall im Volumen eines Silizium-Chips. Diese Technologie soll die Qualität und Quantität der Schallwiedergabe etablierter Lösungen deutlich übertreffen und ermöglicht zudem eine Mikroelektronikintegration.
Das Vorhaben MEMSound hat daher das Ziel, Funktionsdemonstratoren miniaturisierter Lautsprecher als mikroelektromechanische Systeme (MEMS) zu entwickeln, herzustellen und zu validieren. Vorteile gegenüber kommerziell verfügbaren miniaturisierten Lautsprechern sind ein sparsamer Energieverbrauch, die preiswerte Integration elektronischer Schaltkreise (auf Siliziumbasis), die vergleichsweise einfache Miniaturisierbarkeit, Gewichtsersparnis, niedrigere Kosten gegenüber herkömmlichen Herstellungsmethoden und die relativ einfach skalierbare Fertigung. Die anschließende Verwertung kann über gemeinsame Forschungsprojekte mit Industrieunternehmen und Lizenzvergaben erfolgen.